розсіювання іонів на атомах

емісія електронів

іонна імплантація

хімічне розпилення

дифракція електронів

дифракція рентгенівських фотонів

адсорбція іонів

фізичне розпилення

вивчати процеси взаємодії з фотонами

вивчати процеси транспорту носіїв заряду

вивчати процеси взаємної дифузії у плівкових матеріалах електроніки

будувати дифузійні профілі

метод коефіцієнтів відносної спрямованості

метод коефіцієнтів відносної чутливості

використання еталонів

метод коефіцієнтів відносної коректності

стрижень

розподілювач

кутник

дільник

діафрагми

стрижні квадруполя

діодний блок

іонізаційна камера

колектор іонів

підсилювач іонного струму

транзисторний блок

маніпулятор

діафрагми

A_м=М_сер/ (а_сер/L)

A_м=ΔM/М_сер 

A_м=М_сер/ ΔM

Aм=ΔМ/ (а_сер/ΔL)

джерело з розрядом Пеннінга

комірка Кнудсена

пристрій реєстрації

іонно-електронний перетворювач

фокусувальна система для первинних іонів

обєктивна лінза

електронний помножувач

мас-аналізатор

контроль хімічного та елементного складу поверхні зразків

дослідження мікроструктури поверхні зразків

дослідження магніторезистивних властивостей

дослідження процесів корозії, поверхні та об’ємної дифузії

пошаровий аналіз

ідентифікація стабільних ізотопів

ідентифікація іонів оксидів, гідридів, нітридів і т.п.

ідентифікація піків

ідентифікація багатоатомних іонів

ідентифікація первинних іонів