Šviesos spindulių lūžiu ir atspindžiu nuo bandinio paviršiaus

Lazerio spindulio atspindžiu nuo paviršiaus nelygumų

Smulkaus elektronų pluošto išsklaidymu bandinio paviršiuje ir atsirandančių signalų registravimu

Adatėlės judėjimu paviršiumi ir mechaninių svyravimų registravimu