морфологія поверхні плівок, покриттів або масивних зразків

морфологія зразка, його еволюція в процесі хімічної, температурної і механічної обробок

хімічний і елементний склад зразків, дифузійні процеси в них

процеси рекристалізації зерен

лінійні дефекти, дислокації, центри макронапружень