структурні характеристики аморфних і наноматеріалів

морфологія поверхні плівок, покриттів або масивних зразків

межі зерен, їх характер (мало- чи великокутові), блоки мозаїки (ОКР)

хімічний і елементний склад зразків, дифузійні процеси в них

пряме спостереження морфологічних змін поверхні при різних видах обробки