Періоди кристалічних граток відрізняються не більше ніж на 10 %.

За однакового складу плівки і підкладки

Структура плівки або орієнтація кристалографічних площин у ній не збігаються з такими у підкладцію

Товстими

Нанофазними

Тонкими

Кристалічні порошки.

Ниткоподібні монокристали.

Ниткоподібні полікристали.

Когерентної

Напівкогерентної

Некогерентної

На початковій стадії плівка росте пошарово, а потім виникають тривимірні острівці.

Тривимірні острівці плівки зароджуються, ростуть і об'єднуються безпосередньо на поверхні підкладки.

Наступний шар плівки утворюється лише після того, як завершилося формування попереднього.

Графіт, карбіди, надпровідні сполуки.

Карбіди, бориди, галіди.

Графіт, дихалькогеніди металів, силікати.

Такий механізм росту плівки на має місця.

Атоми плівки сильніше зв'язані з підкладкою, ніж один з одним.

Атоми плівки сильніше зв'язані між собою, ніж з атомами пікладки.

Дислокації невідповідності.

Хмари Снука.

Дефекти упакування.

Великокутові границі.

Малокутові границі.

За однакового складу плівки і підкладки.

Періоди кристалічних граток відрізняються більше ніж на 10 %.

Структура плівки або орієнтація кристалографічних площин у ній не збігаються з такими у підкладці.

Товстою

Тонкою

Когерентною, напівкогерентною, некогерентною