Дуже висока швидкість осадження; забруднення плівок робочим газом внаслідок проведення процесу за високого тиску; високий ступінь іонізації речовини, що осідає.

Низька

швидкість осадження; 

Висока швидкість осадження; забруднення плівок робочим газом і продуктами реакції внаслідок проведення процесу за високого тиску; низький ступінь іонізації речовини, що осідає.